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第90章 极紫外线光刻机

作品:我的科技博物馆作者:地俞
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“徐总,杨院长正在外面等着你呢。”

徐磊刚睁开眼睛,一张漂亮的脸蛋顿时占据了视野。

正是他的助理陈诗禾。

待回过神来后,徐磊随即伸出双手揉了揉略显僵持的脸庞,便准备起身向外面走去。

刚好他也要找机会和杨森平商议合作制造顶级光刻机的事情。

倒是陈诗禾看到徐磊这幅表现,还以为他没有休息好,便连忙开口提议道:“徐总,要不你还是再多休息会吧,我去和杨院长说一声。”

“没事。”

“我们出去吧。”

无论在博物馆待多长时间,都不会影响到外面身体的状态,所以徐磊直接否决了陈诗禾的提议。

说着拉开房门径直走了出去。

见此陈诗禾也没有办法,只得连忙跟上去好方便自己随时掌握徐磊的状况。

由于上午在杨森平的带领下参观了几项技术的实验室,下午徐磊倒也表现的轻车熟路,遇到自己感兴趣的东西还会特意和科研人员以及院士交流。

通过详细了解。

徐磊知道目前国产光刻机的困境,主要在激光器物镜和特殊复合材料,以及关键的高端光刻胶上面。

光刻机的工作原理是首先通过激光器发光,经过校正在能量控制器和光束成型装置的作用下进入光掩膜台,然后在物镜系统的投射下来到曝光台,因为此时晶圆片上涂抹了光刻机具有光敏感性,紫外光线就会晶圆上蚀刻出电路。

其中会用到顶级极紫外式和高端浸入式技术。

激光器负责光源的产生,这对制程是起到决定性影响的,需要光源波段保持在适合的长度。

物镜系统海外光刻机则需要依赖徳国的蔡司光学镜头。

至于特殊复合材料和光刻胶,却被霓虹国公司所垄断。

要想同时具备这些技术,其中难度可想而知。

若不是徐磊已经获得了顶级光刻机的全套详细技术,真不知道需要多长时间才能把这些难题全部攻克解决。

但或许是心照不宣的缘故,过程中徐磊和杨森平双方都没有在提及研发光刻机的事。

就像是完全抛之脑后了一样。

直到接近下午五点,徐磊等人准备返回酒店的时候,杨森平才算按耐不住再次讲到了上午说的那件事。

“徐总啊,国内在光刻机上面的研发进度你也都清楚了,我们眼下是急需人才的加入,所以我

…。。
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