沉思之中。
的确如江超所言，光刻机镜头的最大难度不在设计，而在于工艺实现这一步，不仅是材料很难搞，合成石英需要降应力、提纯度、去气泡条纹，还有超高面型精度的镜片加工，打磨、测量、装配等等工作都够他们一群人吃一壶了。
所以应用现有的镜头结构，通过部分技术参数的调整，同样也可以实现数值孔径提高的要求。
“我有一个大胆的想法，斗胆一说，还请大家多多分辨分辨。”江超调整了一下护目镜，“我们可以尝试在照明上多做一些功夫，比如采用离轴照明法、四极照明法，环形照明法或者是倾斜照明法。”
“当然镜头上也要有改进，通过对温度、气压补偿来实现倍率补偿，从而改善线宽质量和提高分辨率！”