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第96章 二元光栅照明

作品:回到1997造芯片作者:牧狼童
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一般来讲,空气折射率是1,但对于光刻物镜而言,必须考虑它随温度等诸多条件的变化。

在理论上而言,当波长和湿度不变时,温度变化1K(K,开尔文,一种温度单位,1K=272.15),气压提高2.0kPa时,空气折射率将变化5*10^-4以上,它会引起物镜的焦点飘移、倍率的变化、畸变变化,甚至影响成像质量,所以一般这种技术都是应用于补偿工艺。

但是反过来,可以利用这个工艺,空气折射率一旦发生变化,就如同一块透镜一般,同样可以给透镜组本身带来正面影响,解决倍率控制问题,以改善最终的像质。

“江师弟放心,”一个青年男子站了出来,“我是林动教授手下的学生,现在正在读博二,我的名字叫杜晓风,如果江师弟想要研究透镜材料气压承受极限,来找我准没错!”

他一边说着,一边将胸脯拍得啪啪作响,也引来了一旁不少研究生的哄笑声。

看着眼前的师兄师姐们讨论着对于镜头改良的可能性,王向中也是露出了一抹欣慰的笑容。

说实话,作为计算机科学博士,他在其它学科上的能力实在是有限,只能是依靠其它人的力量来完成更深层次的研究。

旋即他又不着痕迹地叹了一口气,说白了还是没钱!水木同方给的一百二十万元资金看起来很多,实际上也就仅仅能支撑一些理论研究工作上的开销和生活开销,要想真的把这一套复杂的系统给造出来,还是有不小的财政赤字。

要是有足够的钱,又怎么还需要对什么霓虹国的破光刻机进行改造?有这么多人才,直接就可以原地造一台国产光刻机了!

一想到这里,王向中也是不禁握紧了拳头,等到这边的事情告一段落,一定要好好把上网小助手给经营起来,有钱,才是发展的硬道理!


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